易度MFC助力半導體行業解決各類復雜測控需求
光刻機的氣路系統中，MFC是核心控制部件，高純壓縮空氣或惰性氣體通過MFC精確控制后進入光刻機，對特定部位的溫度精確控制，確保雙工件臺的超高運動精度。
極快響應時間 潔凈車間生產 極低壓損 耐腐蝕
更多場景應用
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MOCVD
離子注入機
刻蝕機
光刻機
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服務優勢
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原理優勢
領先的層流原理，產品精度高、穩定性高、響應速度快
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技術優勢
14年的技術積累，核心器件完全自主研發，定制性強，適應性寬
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應用優勢
行業龍頭客戶長期批量使用，各種應用工況經驗豐富
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服務優勢
1小時及時響應，24小時方案呈現，貨期短，服務靈活性強